La technologie piézoélectrique

L’élément sensible (cristal) est un matériau piézoélectrique ou ferroélectrique : une contrainte générée entre deux électrodes délivre des charges en proportion de la sollicitation.

• La structure mécanique est très raide. Elle peut recevoir un filtre mécanique pour
  protéger la partie sensible; un filtre électrique et un circuit pour optimiser sa plage de
  mesure et la qualité du signal.
• Les modèles ICP® (Integrated Circuit Piezoelectric) intègrent un amplificateur, un filtre
  et un convertisseur de signal tension ou courant.
• Types de mesure concernés : accélération, vibration, choc, pression, acoustique.

La technologie piézorésistive

L’élément sensible (MEMS) est un composant en silicium micro-usiné assemblé en pont de Wheatstone : une contrainte déséquilibrera le pont générant ainsi un signal proportionnel à la sollicitation.

• La dimension miniature permet une combinaison adaptée aux forts niveaux d’accélération :
  faible poids, très grande fréquence de résonance, étendue de mesure élevée.
• Comme il mesure autant les phénomènes hautes fréquences qu’une accélération constante,
  le signal peut être intégré (énergie, vitesse, déplacement…)
• Types de mesure concernés : accélération, vibration, choc, pression.

La technologie capacitive

L’élément sensible (MEMS) est un composant en silicium micro-usiné capacitif intégré sur un circuit électrique : une contrainte changera la distance entre deux plaques d’un condensateur et fera varier le signal de sortie tension.

• La flèche de la partie sensible est importante; elle permet la mesure de faibles variations
  et l’implantation de butées mécaniques. La technologie capacitive est très stable en
  température et dans le temps.
• Types de mesure concernés : accélération, vibration, acoustique…

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